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氫化物氣體檢測分析儀

【型  號】FP-260
【品  牌】日本理研RIKEN
【價  格】洽詢
氫化物氣體檢測分析儀FP-260
【主要技術指標】檢測半導體各種氣體
【詳細技術指標】
詳細介紹
工業半導體凈化室的理想檢測儀
更適于低濃度氣體檢測(ppm級)
抗干擾性強
盒式帶取放簡便
盒帶剩余量顯示
功能描述
使用盒式紙帶的光電光度學原理
盒式紙帶,VHS型快速更換型盒帶
AC100V,AC115V,AC220V,50/60Hz(在檢測狀態耗能為35VA,在紙帶卷動時耗能為60VA)
物理特性
370mm
275mm
220mm
約12kg
持有證書
CE
其它
檢測氣體和范圍
檢測氣體
TLV值
檢測范圍
解析值
磷 PH4
300ppb
0--900ppb
5
四氫化硅 SiH4
5ppm
0--15ppm
0.25
乙硼烷 B2H6
100ppb
0--300ppb
5
砷烷AsH3
50ppb
0--150ppb
1
乙硅烷 SiH6
5ppm
0--10ppm
0.1
硫化氫 HS2
10ppm
0--100ppm
1
光氣 COCl2
100ppb
0--300ppb
2
氯氣 Cl2
0.5ppm
0--100ppb
1
硒化氫 H2Se
50ppb
0--300ppb
2
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